Halbleiter und Photovoltaik

Halbleiterofenrohre (wie sie in Diffusionsöfen, Oxidationsöfen usw. verwendet werden) müssen strenge Anforderungen erfüllen, wie z. B. ultrahohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und Wärmeschockbeständigkeit. RSiC-Ofenrohre haben sich aufgrund ihrer hervorragenden Eigenschaften zu einem gängigen Material entwickelt. Die Reinheit des Sinterkörpers liegt über 3N und die Verarbeitungsgenauigkeit beträgt 0,01 mm.

Der RSiC-Waferträger dient als kritische Komponente in der Halbleiterherstellung und bei Kristallwachstumsprozessen und wurde speziell für den Transport von Silizium-Wafern oder Siliziumkarbid-Substraten in Hochtemperaturumgebungen entwickelt. Dieser unverzichtbare 12-Zoll-Waferträger bietet zuverlässigen Halt während verschiedener thermischer Verarbeitungsphasen.

Das Thermoelement-Schutzrohr aus Siliziumnitrid-gebundenem Siliziumkarbid (NSiC) ist eine Schlüsselkomponente im Bereich der Hochtemperaturmessung. Das Thermoelement-Schutzrohr von NSiC weist eine hervorragende Leistung in extremen Umgebungen auf, die hohe Temperaturfestigkeit, Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität erfordern.

Der Isolierbehälter der Ofenkammer ist eine wichtige thermische Feldkomponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen wie dem Wachstum von monokristallinem Silizium und der Wärmebehandlung von Wafern verwendet wird. Isolierzylinder müssen die Anforderungen extrem hoher Temperaturen, hoher Reinheit und hervorragender Wärmedämmung erfüllen.

Die Wärmeabschirmplatte des Ofens ist die Kernkomponente von Hochtemperatur-Halbleitern und Photovoltaik. RSiC-Wärmeschutzplatte, neue Material-Sinteranlage. Die RSiC-Wärmeschutzplatte zeichnet sich durch hohe Temperaturbeständigkeit, geringen Wärmeverlust und lange Lebensdauer aus.

Rekristallisiertes Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel ist ein Hochleistungskeramikbauteil, das aufgrund seiner überlegenen Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und guten Thermoschockstabilität hauptsächlich in Branchen wie der Chemie-, Metallurgie-, Umweltschutz- und Halbleiterindustrie verwendet wird.

SiC-Waferboote sind wichtige Träger bei der Halbleiterherstellung und bei Kristallwachstumsprozessen und werden hauptsächlich zum Transport von Silizium-Wafern oder Siliziumkarbid-Substraten in Hochtemperaturumgebungen verwendet. Siliziumkarbid-Waferboote bieten Vorteile wie hohe Reinheit, hohe Temperaturbeständigkeit (über 1600 °C), Säure- und Alkalikorrosionsbeständigkeit, niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und hohe Wärmeleitfähigkeit.

RSiC-Waferboote sind wichtige Träger bei der Halbleiterherstellung und bei Kristallwachstumsprozessen und werden hauptsächlich zum Transport von Silizium-Wafern oder Siliziumkarbid-Substraten in Hochtemperaturumgebungen verwendet. Horizontale Waferboote werden in horizontalen Diffusionsöfen verwendet.

Der RSiC-Waferträger ist ein wichtiger Träger in der Halbleiterherstellung und bei Kristallwachstumsprozessen und wird hauptsächlich zum Transport von Silizium-Wafern oder Siliziumkarbid-Substraten in Hochtemperaturumgebungen verwendet. Halbleiter-Waferträger bieten Vorteile wie hohe Reinheit, hohe Temperaturbeständigkeit (über 1600 °C), Säure- und Laugenkorrosionsbeständigkeit, niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und hohe Wärmeleitfähigkeit.

RSiC-Ofenrohr: Rekristallisierte Siliziumkarbid-Ofenrohre sind eine Schlüsselkomponente in der Halbleiterfertigung und werden hauptsächlich in Hochtemperatur-Prozesskammern (wie Epitaxie, Ionenimplantation, Diffusionsöfen usw.) eingesetzt. Die Reinheit des Sinterkörpers liegt über 3 N, und die Verarbeitungsgenauigkeit kann 0,01 mm erreichen, wodurch die Anforderungen an ultrahohe Reinheit, Korrosionsbeständigkeit und Präzisionsgröße erfüllt werden.

RSiC-Waferboote sind eine wichtige Komponente in der Halbleiterfertigung und dienen der sicheren Befestigung von Wafern bei Hochtemperaturprozessen. RSiC-Waferboote zeichnen sich durch hohe Temperaturbeständigkeit, ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit, ausgezeichnete Säure- und Laugenkorrosionsbeständigkeit, hohe Reinheit und strukturelle Stabilität aus.

Thermoelement-Schutzrohre aus rekristallisiertem Siliziumkarbid (RSiC) sind eine Schlüsselkomponente im Bereich der Hochtemperaturmessung. RSiC-Thermoelementrohre weisen eine hervorragende Leistung in extremen Umgebungen auf, die hohe Temperaturfestigkeit, Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität erfordern.