SiC-Tiegel, hohe Temperaturbeständigkeit, korrosionsbeständig
SiC-Tiegel sind hochtemperaturbeständig, beständig gegen schnelles Abkühlen und Erhitzen, rissfest, korrosionsbeständig, hochrein, hart und weisen eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit auf. SiC-Tiegel werden hauptsächlich in Rekristallisationstiegel, Reaktionssintertiegel, Siliziumnitrid- und Siliziumkarbidtiegel usw. unterteilt. SiC-Tiegel werden häufig in der Halbleiterindustrie, Photovoltaik, Metallschmelzen usw. eingesetzt.
FUNKTIONEN UND VORTEILE
Leistungsmerkmale des rekristallisierten Siliziumkarbidtiegels
Ultrahohe Reinheit und hohe Temperaturbeständigkeit: frei von Verunreinigungen, kann lange Zeit über 1800 °C verwendet werden. Hervorragende Wärmeleitfähigkeit: überlegene Wärmeleitfähigkeit im Vergleich zu anderen Typen, Korrosionsbeständigkeit: extrem starke Korrosionsbeständigkeit gegenüber starken Säuren, Laugen und Metallschmelzen (wie Silizium und geschmolzenem Eisen).
Nachteile: Geringe Festigkeit: Aufgrund der hohen Porosität geringe mechanische Festigkeit, hohe Sprödigkeit: anfällig für mechanische Stoßschäden.
Leistungsmerkmale von Siliziumnitrid kombiniert mit Siliziumkarbid-Tiegel:
Hochfestes Material und hohe Zähigkeit gleichen die Sprödigkeit von RSiC aus, mit hoher Biegefestigkeit und besserer Oxidationsbeständigkeit als RSiC. Es hat eine gute Wärmeschockstabilität und Beständigkeit gegen schnelles Abkühlen und Erhitzen. Korrosionsbeständigkeit, starke Beständigkeit gegen geschmolzene Metalle (wie Aluminium und Kupfer) und saure Schlacke.
Nachteile: Die Langzeitgebrauchstemperatur bei hohen Temperaturen beträgt 1450 °C, die Hochtemperaturbeständigkeit von NSiC-Tiegeln ist geringer als die von rekristallisierten Siliziumkarbid-Tiegeln.
Leistungsmerkmale des reaktionsgesinterten Siliziumkarbidtiegels:
Hohe Dichte: geringe Porosität (<1 %). Hohe Härte mit einer Mohshärte von 9,5 und ausgezeichneter Verschleißfestigkeit.
Nachteile: Die Hochtemperaturbeständigkeit ist begrenzt, niedriger als bei Tiegeln aus RSiC- und NSiC-Material, mit geringer Korrosionsbeständigkeit und nicht geeignet für stark alkalische Umgebungen.
HAUPTPARAMETER
Hochtemperatur-Ofenausrüstungsindustrie | RSiC | NSiC | RBSiC |
SiC-Gehalt (%) | ≥99 % | 75 % | ≥90 % |
Si3N4-Gehalt (%) | / | ≥25 % | 5 % – 10 % |
Schüttdichte (g/cm3) | 2,65 ~ 2,75 | 2,73 bis 2,83 | 3,02 bis 3,07 |
Scheinbare Porosität (%) | <17 | <12 | <0,1 |
Festigkeit bei Raumtemperatur (MPa) | 90~100 | 160~170 | 260~270 |
Festigkeit bei 1300 °C (MPa) | 100-110 | 170~180 | 280~290 |
Elastizitätsmodul bei 20℃ | 240 | 250 | 330 |
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C (W/mk) | 36 | 20 | 45 |
Wärmeausdehnung x10-6/℃ | 4.6 | 4.7 | 4.5 |
Maximale Betriebstemperatur (℃) | 1650℃ | 1450℃ | 1350℃ |
Härte bei 20 °C (kg/mm2) | 2000 | 2500 | 2400 |
Bruchzähigkeit bei 20°(MpaxM1/2) | 2.0 | 4.0 | 3.3 |
PRODUKTDETAIL
Verschiedene Verfahren zur Herstellung von Siliziumkarbidtiegeln haben ihre eigenen Schwerpunkte, die entsprechend den spezifischen Arbeitsbedingungen (Temperatur, Medium, mechanische Belastung) umfassend ausgewählt werden müssen.
Wählen Sie Vorschläge
Inerte Umgebung mit hoher Temperatur (>1600 ℃): Wählen Sie RSiC (z. B. Wachstum von Silizium-Einkristallen).
Starke mechanische Einwirkung oder Oxidationsumgebung: Wählen Sie NSiC (z. B. Metallschmelzen).
Niedrige Kosten, Anforderungen an die Verschleißfestigkeit: Wählen Sie RBSiC (z. B. Düsen, Dichtungen).
VERPACKUNG
UNSER SERVICE
1,24-Stunden-Service: Mehrzeitabdeckung, um eine zeitnahe Reaktion auf Kunden weltweit zu gewährleisten
2. Termingerechte Lieferung: Vom Verkauf bis zur Produktion, von der Qualitätskontrolle bis zur Logistikverfolgung, erreichen Sie eine termingerechte und pünktliche Lieferung
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