Rekristallisiertes Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel
PRODUKTBESCHREIBUNG
Das Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel ist ein leistungsstarkes keramisches Strukturbauteil, das sich durch sein flaches Design mit länglichen Streifen oder perforierten Konfigurationen auszeichnet. Dieses spezielle SiC-Cantilever-Paddel wird hauptsächlich in Photovoltaik- und Halbleiter-Wafer-Handlingsystemen eingesetzt und bietet zuverlässigen Halt für Materialien während Sinterprozessen. Hergestellt aus proprietärem hochreinem Siliziumkarbidpulver (SiC-Gehalt 99,9990 %), verfügt unser Unternehmen über einzigartige Fähigkeiten zur Herstellung großformatiger SiC-Cantilever-Paddel-Komponenten mit mehreren Metern Länge und komplexen geometrischen Anforderungen. Diese fortschrittlichen Siliziumkarbid-Cantilever-Paddeleinheiten fungieren als wichtige Trag- und Transportelemente bei der Wafer-Wärmebehandlung und der chemischen Gasphasenabscheidung.
Eigenschaften des rekristallisierten Siliziumkarbid-Cantilever-Paddels
1. Anpassungsfähigkeit an die Umwelt
Hohe Temperaturbeständigkeit: Das SiC-Cantilever-Paddel behält seine strukturelle Integrität bei Betriebstemperaturen von bis zu 1650 °C und übersteht sogar höhere kurzfristige Wärmebelastungen ohne Verformung. Damit ist es ideal für LPCVD und andere Hochtemperaturprozesse.
Temperaturwechselbeständigkeit: Dank seines niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten hält dieses freitragende Paddel schnellen Temperaturwechseln stand und verlängert so die Wartungsintervalle der Geräte erheblich.
2. Mechanische Leistung
Hohe Tragfähigkeit: Dank der außergewöhnlichen Biegefestigkeit kann das SiC-Cantilever-Paddel im Vergleich zu herkömmlichen Quarzmaterialien wesentlich höhere Waferlasten tragen und so den Produktionsdurchsatz steigern.
Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit: Das SiC-Cantilever-Paddel weist eine Mohs-Härte von 9 auf und weist eine hervorragende Beständigkeit gegen Säuren, Laugen und Partikelerosion auf, wodurch das Kontaminationsrisiko minimiert und die Reinheit des Wafers bewahrt wird.
3. Leichtbauweise und längere Lebensdauer
Das Cantilever-Paddel mit geringer Dichte verringert die mechanische Systembelastung und bietet gleichzeitig eine 3-5-mal längere Lebensdauer als Alternativen aus Metall oder Quarz, wodurch die Gesamtbetriebskosten erheblich gesenkt werden.
4. Präzision und Stabilität
Dank der hervorragenden Oberflächenbeschaffenheit und der außergewöhnlichen thermischen Stabilität erleichtert das Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel die automatisierte Handhabung durch Roboter und erfüllt gleichzeitig die strengen Präzisionsanforderungen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern.
FUNKTIONEN UND VORTEILE
Hohe Temperaturbeständigkeit
Thermoschockbeständigkeit
Hohe Wärmeleitfähigkeit
Hohe mechanische Festigkeit
Säure- und Laugenbeständigkeit
Verschleißfestigkeit
HAUPTPARAMETER
Hochtemperatur-Ofenausrüstungsindustrie | RSiC |
SiC-Gehalt (%) | ≥99 % |
Schüttdichte (g/cm3) | 2,65 ~ 2,75 |
Scheinbare Porosität (%) | <17 |
Festigkeit bei Raumtemperatur (MPa) | 90~100 |
Festigkeit bei 1300 °C (MPa) | 100-110 |
Elastizitätsmodul bei 20℃ | 240 |
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C (W/mk) | 36 |
Wärmeausdehnung x10-6/℃ | 4.6 |
Maximale Betriebstemperatur (℃) | 1650℃ |
Härte bei 20 °C (kg/mm2) | 2000 |
Bruchzähigkeit bei 20°(MpaxM1/2) | 2.0 |
ANWENDUNG
SiC Cantilever Paddle Industrielle Anwendungen
Halbleiterfertigung: Das Siliziumkarbid-Freiträgerpaddel bietet wichtige Unterstützung in Diffusionsöfen und CVD-Geräten und gewährleistet stabile Waferverarbeitungsumgebungen.
Photovoltaikproduktion: Als kritisches tragendes Element in Silizium-Wafer-Sinteröfen ermöglicht das SiC-Cantilever-Paddel eine effiziente Massenproduktion von Solarzellen.
Fortschrittliche Keramikverarbeitung: Dieses freitragende Paddel erleichtert das Hochtemperatursintern technischer Keramik, einschließlich Siliziumnitrid- und Zirkonoxidkomponenten.
Anwendungen in der Glasindustrie: Das robuste Auslegerpaddel aus Siliziumkarbid dient effektiv als Förderrolle für geschmolzenes Glas in Hochtemperatur-Glasverarbeitungssystemen.
ÜBER UNS
Nach über 20 Jahren Produktforschung und -innovation umfasst die Branche des Unternehmens industrielle Brennhilfsmittel, Siliziumkarbid-Rohstoffpulver, umweltfreundliche Keramikfolien, elektronische Keramik, Halbleiter-Photovoltaik usw. Die Produkte werden in über 20 Länder und Regionen im Ausland exportiert, darunter die USA, Japan, Deutschland, Italien, Spanien, Australien, Südafrika, Brasilien, Thailand usw. Das Unternehmen hat Vertreter in mehreren Ländern und das Exportvolumen der Produkte wird im Jahr 2024 30 % der Gesamtproduktion ausmachen.
