RSiC-Waferboote sind wichtige Träger bei der Halbleiterherstellung und bei Kristallwachstumsprozessen und werden hauptsächlich zum Transport von Silizium-Wafern oder Siliziumkarbid-Substraten in Hochtemperaturumgebungen verwendet. Horizontale Waferboote werden in horizontalen Diffusionsöfen verwendet.
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