Ofenkammer-Isolierrohr SiC mit hoher Reinheit
PRODUKTBESCHREIBUNG
Der Isolierzylinder aus rekristallisiertem Siliziumkarbid ist eine Schlüsselkomponente in hochwertigen Hochtemperatur-Industrieanlagen und bietet insbesondere bei Hochtemperaturbehandlungsprozessen in der Halbleiter-, Photovoltaik-, Spezialkeramik- und anderen Bereichen unersetzliche Vorteile. Die Funktion des Isolierzylinders der Ofenkammer besteht darin, die Produktionsumgebung bei der Chipherstellung zu schützen – eine ultrareine und hochpräzise Produktionsumgebung.
Die Isolierhülse der Ofenkammer besteht aus Siliziumnitrid und wird auch als Siliziumkarbid-Isolierhülse bezeichnet. Die Siliziumkarbid-Isolierhülse gewährleistet die Stabilität der Umgebungsbedingungen, nicht der Temperatur. Sie sorgt für ein konstantes, reines und inertes Mikroklima. SiC-Isolierhülsen sind hochmoderne Hightech-Behälter, die Wafer im Wert von mehreren Millionen Dollar schützen und die Chipausbeute sichern. SiC-Isolierhülsen sind unverzichtbare Komponenten in der Chipherstellung.
Eigenschaften der RSiC-Isolierhülse
1. Ultrahohe Temperaturstabilität: Temperaturbeständigkeitsgrenze, Langzeitgebrauchstemperatur kann 1600 °C erreichen, kurzfristige Toleranz 1800 °C.
2. Beibehaltung der Festigkeit bei hohen Temperaturen: Die Druckfestigkeit eines Isolierzylinders aus Siliziumkarbid bei 1500 °C beträgt mehr als 100 MPa, während die Festigkeit des Isoliermaterials aus Aluminiumoxid bei der gleichen Temperatur um mehr als 50 % abnimmt.
3. Höchste Wärmeeffizienz: SiC-Isolierrohre haben eine niedrige Wärmeleitfähigkeit von 0,8–1,2 W/(m·K) (bei 800 °C), was einer Reduzierung um 40 % im Vergleich zu herkömmlichen Siliziumkarbid-Materialien entspricht. Dies wird durch eine spezielle Porenstruktur erreicht. Mehrschichtige reflektierende Struktur: RSiC-Material mit hoher Strahlungswärmereflexion
4. Chemische Inertheit: Korrosionsbeständigkeit: SiC-Isolierrohre sind beständig gegen saure Gase wie HCI, HF, H2SO4-Dampf, alkalische Umgebungen wie geschmolzenes Na2CO3-Salz und Metallschmelzen wie Al, Cu, Ag usw.;
5. Der SiC-Isolierzylinder hat eine lange Lebensdauer.
FUNKTIONEN UND VORTEILE
· Hohe Temperaturbeständigkeit
· Thermoschockbeständigkeit
· Hohe Wärmeleitfähigkeit
· Hohe mechanische Festigkeit
· Säure- und Laugenbeständigkeit
· Verschleißfestigkeit
HAUPTPARAMETER
Hochtemperatur-Ofenausrüstungsindustrie | RSiC |
SiC-Gehalt (%) | ≥99 % |
Schüttdichte (g/cm3) | 2,65 ~ 2,75 |
Scheinbare Porosität (%) | <17 |
Festigkeit bei Raumtemperatur (MPa) | 90~100 |
Festigkeit bei 1300 °C (MPa) | 100-110 |
Elastizitätsmodul bei 20℃ | 240 |
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C (W/mk) | 36 |
Wärmeausdehnung x10-6/℃ | 4.6 |
Maximale Betriebstemperatur (℃) | 1650℃ |
Härte bei 20 °C (kg/mm2) | 2000 |
Bruchzähigkeit bei 20°(MpaxM1/2) | 2.0 |
PRODUKTDETAIL
Der Isolierzylinder weist eine ultrahohe Reinheit auf: Die Reinheit des Sinterkörpers liegt über 3 N und die Verarbeitungsgenauigkeit kann 0,01 mm erreichen.
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