Der Isolierbehälter der Ofenkammer ist eine wichtige thermische Feldkomponente, die in Halbleiterherstellungsprozessen wie dem Wachstum von monokristallinem Silizium und der Wärmebehandlung von Wafern verwendet wird. Isolierzylinder müssen die Anforderungen extrem hoher Temperaturen, hoher Reinheit und hervorragender Wärmedämmung erfüllen.
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