Prozessrohr/RSiC-Ofenrohr, hochrein, dünnwandig
PRODUKTBESCHREIBUNG
In Hochtemperaturgeräten für die Halbleiter- und Photovoltaikherstellung, wie etwa Diffusionsöfen, CVD-Öfen, Glühöfen usw., ist das RSiC-Ofenrohr eine wichtige Zusatzkomponente, die innerhalb oder außerhalb des Hauptprozessrohrs installiert wird, und die Rolle des Prozessrohrs geht weit über den einfachen physischen Schutz hinaus.
Ofenrohre können Metallverunreinigungen verhindern und so die Schadstoffkontrolle und Reinheit während des Prozesses gewährleisten.
Schützen Sie das Hauptprozessrohr und verlängern Sie die Lebensdauer der Ausrüstung.
RSiC-Ofenrohre bieten erhebliche Vorteile in High-End-Fertigungsbereichen wie Halbleitern, Photovoltaik und Halbleitern der dritten Generation sowie bei Hochtemperatur-, Korrosions- und Hochreinprozessen.
Eigenschaften des RSiC-Ofenrohrs
1. Extrem hohe Temperaturbeständigkeit: Temperaturen bis zu 1600 °C, weit über denen von Quarz-Prozessrohren (1200 °C-Grenze) und gewöhnlichen Keramik-Prozessrohren;
2. Hervorragende Wärmeschockbeständigkeit: Das Prozessrohr hält einem schnellen Temperaturanstieg und -abfall von 1000 °C/min stand.
3. Extrem starke chemische Inertheit: beständig gegen korrosive Gase wie HCl, Cl₂, HF usw.;
4. Ultrahohe Reinheit und geringe Verschmutzung: Metallverunreinigungsgehalt <1 ppm;
5. Lange Lebensdauer: Starke Anti-Sedimentationsfähigkeit und niedrige Wartungskosten;
6. Optimierung der Wärmefeldgleichmäßigkeit: RSiC-Ofenrohre verfügen über eine hohe Wärmeleitfähigkeit, schnelle Homogenisierung und Reduzierung der axialen Temperaturdifferenz im Ofen (steuerbar innerhalb von ± 0,3 °C).
HAUPTPARAMETER
Hochtemperatur-Ofenausrüstungsindustrie | RSiC |
SiC-Gehalt (%) | ≥99 % |
Schüttdichte (g/cm3) | 2,65 ~ 2,75 |
Scheinbare Porosität (%) | <17 |
Festigkeit bei Raumtemperatur (MPa) | 90~100 |
Festigkeit bei 1300 °C (MPa) | 100-110 |
Elastizitätsmodul bei 20℃ | 240 |
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C (W/mk) | 36 |
Wärmeausdehnung x10-6/℃ | 4.6 |
Maximale Betriebstemperatur (℃) | 1650℃ |
Härte bei 20 °C (kg/mm2) | 2000 |
Bruchzähigkeit bei 20°(MpaxM1/2) | 2.0 |
PRODUKTDETAIL
RSiC-Ofenrohr/Prozessrohr, die Reinheit des Sinterkörpers liegt über 3N und die Verarbeitungsgenauigkeit des Prozessrohrs beträgt 0,01 mm.
VERPACKUNG
ÜBER UNS
Als Handelsunternehmen, das auf die gesamte Industriekette für Siliziumkarbid (SiC) spezialisiert ist, verfügt Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) hinsichtlich Geschäftsmodell und Wertschöpfungskette über erhebliche Vorteile auf der Außenhandelsplattform.Das Unternehmen ist in der Lage, die industrielle Kette zu integrieren: Upstream: Verbindung mit führenden inländischen Siliziumkarbid-Produktionsunternehmen, die die gesamte Palette an Rohstoffen, Produkten (Schleifmittel, Keramikteile) und Halbleiterbauelementen (Wafer, Leistungsmodule) abdecken.Downstream: Betreuung internationaler Käufer, Bereitstellung maßgeschneiderter Dienste und Angebot von Beschaffungslösungen aus einer Hand.Bereitstellung hochwertiger Dienstleistungen für Beschaffung, Logistik, Zollabfertigung, grenzüberschreitende Abwicklung usw.
