Langzahniges 8-Zoll-Waferboot RSiC mit hoher Reinheit
Das 8-Zoll-Waferboot ist ein spezielles Trägergerät aus rekristallisiertem Siliziumkarbid (RSiC), das speziell für die 200-mm-Waferverarbeitung entwickelt wurde. Dieses 8-Zoll-Waferboot verfügt über ein einzigartiges Langzahndesign, das die Wärmeableitungseffizienz deutlich verbessert und gleichzeitig die Multi-Chip-Integration mit höherer Dichte unterstützt. Das RSiC-Waferboot weist außergewöhnliche Leistungsmerkmale auf, darunter hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, überlegene mechanische Festigkeit und hervorragende Halbleitereigenschaften. Dies macht das RSiC-Waferboot unverzichtbar für die Herstellung integrierter Schaltkreise, die LED-Produktion und andere mikroelektronische Anwendungen.
Dieses 8-Zoll-Waferboot zeichnet sich durch minimale Kontaminationsgrade und präzise Fertigungstoleranzen aus und bietet zuverlässige Unterstützung für Hochtemperatur-Halbleiterherstellungsprozesse. Unser Unternehmen fertigt verschiedene Konfigurationen, darunter Kachelboote sowie Drei- und Viersäulenstrukturen in den Größen 6 Zoll, 8 Zoll und 12 Zoll. RSiC-Waferboote werden häufig in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie eingesetzt und eignen sich besonders für Oxidations- und Ionenimplantationsprozesse kleinerer Wafer.
MATERIALTECHNISCHE PARAMETER
Halbleiter-/Photovoltaikindustrie | RSiC |
SiC-Reinheit (%) | 99,9-99,99 |
Schüttdichte (g/cm3) | 2,65-2,75 |
Scheinbare Porosität (%) | 15-16 |
Festigkeit bei Raumtemperatur (MPa) | 90 |
Festigkeit bei 1300 °C (MPa) | 100 |
Verbindungsfestigkeit des Sinterkörpers (MPa) | 25 |
PRODUKTDETAIL
Das RSiC-Waferboot ist eine hochwertige Trägerlösung, die speziell für 200-mm-Wafer (8 Zoll) entwickelt wurde und in kritischen thermischen Halbleiterprozessen, einschließlich Diffusions- und Oxidationsphasen, weit verbreitet ist. Dieses fortschrittliche 8-Zoll-Waferboot verwendet rekristallisiertes Siliziumkarbid als Basismaterial, verstärkt durch eine Siliziumkarbidbeschichtung, die durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) aufgebracht wird – das 8-Zoll-Waferboot kombiniert effektiv strukturelle Integrität mit überlegenem Oberflächenschutz.
Das RSiC-Waferboot gewährleistet eine perfekte Wärmeausdehnungskompatibilität zwischen Substrat und Beschichtung und eliminiert so das Risiko von Rissen oder Delaminierungen.
Das RSiC-Waferboot weist eine bemerkenswerte thermische Stabilität auf, die auf den hohen Schmelzpunkt und die chemische Inertheit von Siliziumkarbid zurückzuführen ist. Es behält seine strukturelle Integrität und Leistung bei Verarbeitungstemperaturen über 1250 °C bei, ohne dass es zu Erweichung, Verformung oder Umweltverschmutzung kommt. Mit einer typischen Lebensdauer von 2–3 Jahren reduziert dieses 8-Zoll-Waferboot die Austauschhäufigkeit und die Wartungskosten erheblich. Dadurch werden Anlagenausfallzeiten minimiert und die Produktionsökonomie verbessert.
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Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) bietet seinen Kunden weltweit Mehrwert durch die Kombination effizienter Produktion mit maßgeschneiderten Dienstleistungen. Unser fortschrittliches Produktionssystem gewährleistet hochwertige Ergebnisse und schnelle Reaktionsfähigkeit. Wir bieten unseren Kunden weltweit personalisierte Lösungen und nahtlosen, hochwertigen Service. Unser globaler 24-Stunden-Service garantiert zeitnahe Antworten in allen Zeitzonen.
