RSiC-Waferboote sind eine wichtige Komponente in der Halbleiterfertigung und dienen der sicheren Befestigung von Wafern bei Hochtemperaturprozessen. RSiC-Waferboote zeichnen sich durch hohe Temperaturbeständigkeit, ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit, ausgezeichnete Säure- und Laugenkorrosionsbeständigkeit, hohe Reinheit und strukturelle Stabilität aus.
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