Halbleiter-Rohr aus hochreinem RSiC
PRODUKTBESCHREIBUNG
Der Halbleiterofen, ein Eckpfeiler der modernen Chipherstellung, basiert auf einer entscheidenden Kernkomponente: dem RSiC-Ofenrohr. Dieses hochreine Siliziumkarbid-Ofenrohr dient als Herzstück vertikaler oder horizontaler Diffusions- und Oxidationsöfen. In diesem Rohr werden Wafer auf speziellen Trägern unter kontrollierten Atmosphären präzisen Hochtemperaturprozessen unterzogen. Als unverzichtbare Hochtemperaturplattform ist das RSiC-Ofenrohr von zentraler Bedeutung für wichtige Halbleiterprozesse wie thermische Oxidation, Diffusion, LPCVD und Tempern und bietet unübertroffene Gleichmäßigkeit, Stabilität und Produktionskapazität.
Eigenschaften des RSiC-Ofenrohrs
Der Einsatz von Siliziumkarbid-Werkstoffen in Hochtemperatur-Halbleitergeräten bringt mehrere entscheidende Vorteile mit sich:
Außergewöhnliche Hochtemperaturstabilität: Kann über einen längeren Zeitraum in Umgebungen mit über 1600 °C betrieben werden, mit kurzfristiger Toleranz bis zu 1800 °C.
Überlegene Wärmeschockbeständigkeit: Die Kombination aus hoher Wärmeleitfähigkeit und niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten ermöglicht es Siliziumkarbid-Ofenrohren, schnelle Heiz- und Kühlzyklen ohne Beschädigung zu überstehen.
Hervorragende chemische Inertheit: Bietet hervorragende Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Laugen und verschiedenen Prozessgasen und gewährleistet so die Prozessreinheit.
Hohe mechanische Festigkeit und Härte: Erhält die strukturelle Integrität und widersteht Verformungen unter hohen thermischen und mechanischen Belastungen, wodurch eine langfristige Haltbarkeit gewährleistet wird.
Gleichmäßige thermische Feldverteilung: Entwickelt, um ein äußerst konsistentes Temperaturprofil mit minimalem Wandgradienten aufrechtzuerhalten, was für die Prozessgleichmäßigkeit über alle Wafer hinweg entscheidend ist.
FUNKTIONEN UND VORTEILE
Extreme Temperaturbeständigkeit: Garantiert Leistung und Langlebigkeit bei den anspruchsvollsten thermischen Prozessen.
Schnelle thermische Zyklenfähigkeit: Das robuste RSiC-Ofenrohr kann aggressive Heiz- und Kühlraten bewältigen, wodurch die Produktivität gesteigert und die Zykluszeiten verkürzt werden.
Hohe Wärmeleitfähigkeit: Sorgt für eine effiziente Wärmeübertragung und eine stabile, gleichmäßige thermische Umgebung innerhalb des Siliziumkarbid-Ofenrohrs.
Überlegene strukturelle Integrität: Bietet zuverlässige, durchhangfreie Unterstützung für Waferboote über eine längere Lebensdauer.
Hervorragende Korrosions- und Verschleißbeständigkeit: Schützt vor aggressiven Prozesschemikalien und atmosphärischer Erosion und minimiert die Partikelbildung und Kontamination.
HAUPTPARAMETER
Hochtemperatur-Ofenausrüstungsindustrie | RSiC |
SiC-Gehalt (%) | ≥99 % |
Schüttdichte (g/cm3) | 2,65 ~ 2,75 |
Scheinbare Porosität (%) | <17 |
Festigkeit bei Raumtemperatur (MPa) | 90~100 |
Festigkeit bei 1300 °C (MPa) | 100-110 |
Elastizitätsmodul bei 20℃ | 240 |
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C (W/mk) | 36 |
Wärmeausdehnung x10-6/℃ | 4.6 |
Maximale Betriebstemperatur (℃) | 1650℃ |
Härte bei 20 °C (kg/mm2) | 2000 |
Bruchzähigkeit bei 20°(MpaxM1/2) | 2.0 |
PRODUKTDETAIL
In der Halbleiterfertigung ist das RSiC-Ofenrohr das Herzstück der Hochtemperaturanlage. Dieses hochreine Siliziumkarbid-Ofenrohr schafft eine abgedichtete, gleichmäßige und kontaminationsfreie Umgebung, die für die Waferverarbeitung unerlässlich ist.
Hauptfunktionen:
Zur Unterbringung von Wafern (auf Waferbooten geladen) und zur Erleichterung kritischer Hochtemperaturschritte wie Diffusion, Oxidation, Glühen und Dünnschichtabscheidung.
Um eine hermetische Umschließung zu gewährleisten, ermöglicht das RSiC-Ofenrohr eine präzise Kontrolle über den Fluss und die Verteilung reaktiver Gase (z. B. O₂, N₂).
Die außergewöhnlichen Eigenschaften des RSiC-Ofenrohrs gewährleisten Prozesskonsistenz, maximieren die Ausbeute und sind für die Produktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente von grundlegender Bedeutung.
VERPACKUNG
UNSER VORTEIL
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) konzentriert sich auf Siliziumkarbid (SiC)-Produkte und hat durch Ressourcenintegration ein grenzüberschreitendes Handelsservicemodell für die gesamte SiC-Industriekette entwickelt. Das Unternehmen verfügt über einen Wettbewerbsvorteil, da es differenzierte Aspekte der gesamten Industriekette abdeckt und Rohstoffversorgung, Produktanpassung und weitere Bereiche integriert. Durch die zentrale Beschaffung werden Grenzkosten gesenkt und schnelle Reaktionszeiten erreicht, was die Effizienz steigert und Kosten für die Käufer spart. Riseport Global Traders Ltd. bietet maßgeschneiderte Produktdienstleistungen für unterschiedliche Kundenbedürfnisse, die Logistik, Zoll, Abwicklung und weitere Bereiche abstimmen und umfassende Prozesse sowie komfortable Dienstleistungen bieten.
