RSiC-Ofenrohr: Rekristallisierte Siliziumkarbid-Ofenrohre sind eine Schlüsselkomponente in der Halbleiterfertigung und werden hauptsächlich in Hochtemperatur-Prozesskammern (wie Epitaxie, Ionenimplantation, Diffusionsöfen usw.) eingesetzt. Die Reinheit des Sinterkörpers liegt über 3 N, und die Verarbeitungsgenauigkeit kann 0,01 mm erreichen, wodurch die Anforderungen an ultrahohe Reinheit, Korrosionsbeständigkeit und Präzisionsgröße erfüllt werden.
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