SiC-Waferboote sind wichtige Träger bei der Halbleiterherstellung und bei Kristallwachstumsprozessen und werden hauptsächlich zum Transport von Silizium-Wafern oder Siliziumkarbid-Substraten in Hochtemperaturumgebungen verwendet. Siliziumkarbid-Waferboote bieten Vorteile wie hohe Reinheit, hohe Temperaturbeständigkeit (über 1600 °C), Säure- und Alkalikorrosionsbeständigkeit, niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und hohe Wärmeleitfähigkeit.
EmailMehr
