6-Zoll-Waferboot SiC-Halbleiter mit hoher Härte
Siliziumkarbid-Waferboote haben zahlreiche bedeutende Vorteile, die SiC-Waferboote in rauen Umgebungen wie hohen Temperaturen, hoher Sauberkeit und starker Korrosion hervorragend machen.
Siliziumkarbid-Waferboote weisen eine hohe thermische Stabilität auf. Die langfristige Arbeitstemperatur von SiC-Waferbooten kann 1350 °C bis 1650 °C erreichen und erfüllt damit die Anforderungen gängiger Halbleiterprozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Diffusion, Glühen usw.; SiC-Waferboote erweichen oder verformen sich bei 1700 °C kurzfristig nicht. SiC-Waferboote eignen sich für höherwertige Geräte wie Siliziumkarbid-Einzelwaferöfen.
Siliziumkarbid-Waferboote haben einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine ausgezeichnete Thermoschockstabilität, wodurch sie schnellen Temperaturschwankungen standhalten und durch thermische Spannungen verursachte Strukturrisse reduzieren. Selbst in komplexen Hochtemperaturatmosphären behalten Siliziumkarbid-Waferboote ihre gute Morphologie und Leistung.
SiC-Waferboote zeichnen sich durch eine extrem hohe Oberflächenreinheit und geringe Verschmutzung aus. Das Material weist eine hohe Reinheit und einen extrem niedrigen Gehalt an Metallverunreinigungen auf, wodurch eine sekundäre Verschmutzung der Siliziumwafer vermieden werden kann. Die Oberflächenrauheit Ra kann unter 0,1 μm gehalten werden und erfüllt so die strengen Anforderungen moderner Verfahren an die Reinheitsgrade.
Darüber hinaus werden durch die individuelle Anpassung des SiC-Waferboots gratfreie und unbeschädigte Zahnrillen erzielt und es können verschiedene Größen wie beispielsweise 4-Zoll-Waferboot, 6-Zoll-Waferboot, 8-Zoll-Waferboot, 12-Zoll-Waferboot usw. individuell angepasst werden.
Schließlich weist die SiC-Waferbootstruktur eine hohe Festigkeit und eine lange Lebensdauer auf. Die durchschnittliche Lebensdauer ist 5–10 Mal länger als bei herkömmlichen Quarzbooten, wodurch die Häufigkeit des Gerätewechsels und die Gesamtbetriebskosten deutlich reduziert werden.
MATERIALTECHNISCHE PARAMETER
Halbleiter-/Photovoltaikindustrie | RSiC |
SiC-Reinheit (%) | 99,9-99,99 |
Schüttdichte (g/cm3) | 2,65-2,75 |
Scheinbare Porosität (%) | 15-16 |
Festigkeit bei Raumtemperatur (MPa) | 90 |
Festigkeit bei 1300 °C (MPa) | 100 |
Verbindungsfestigkeit des Sinterkörpers (MPa) | 25 |
PRODUKTDETAIL
Bei diesem Produkt handelt es sich um ein 6-Zoll-Waferboot mit einem Durchmesser von 150 mm, das zum Transport der entsprechenden 6-Zoll-Wafer verwendet wird. Die Anzahl der Wafer, die ein 6-Zoll-Waferboot aufnehmen kann, liegt normalerweise zwischen 25 und 100.
Im Vergleich zu Quarzwerkstoffen weisen 6-Zoll-Waferboote verschiedene Eigenschaften von Siliziumkarbidkeramik auf. 6-Zoll-Waferboote neigen nicht so leicht zu Biegeverformungen und thermischen Belastungen und können sich an die raue Reaktionsumgebung mit starker Korrosion und extrem hohen Temperaturen in Waferherstellungsverbindungen anpassen. Siliziumkarbidkeramik ist das beste Material für Waferboote, und 6-Zoll-Waferboote sind ebenfalls ein aufstrebendes Produkt auf dem Waferbootmarkt.
VERPACKUNG
ÜBER UNS
Riseport Global Traders Ltd. (Shenyang) ist ein Industrie- und Handelsunternehmen, das sich auf kundenspezifische Siliziumkarbidlösungen spezialisiert hat. Wir bieten umfassende OEM- und ODM-Dienstleistungen und liefern maßgeschneiderte Brennhilfsmittel durch maßliche Anpassung und technisches Design. Unterstützt durch Mustervalidierung und strenge Qualitätsstandards gewährleisten wir zuverlässige Leistung für vielfältige Produktionsanforderungen.
